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導(dǎo)向精度 主要指導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)軌跡的精確度。影響導(dǎo)向精度的主要因素有：導(dǎo)軌的幾何精度和接觸精度，導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式，導(dǎo)軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動(dòng)）壓導(dǎo)軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

低速運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性動(dòng)導(dǎo)軌作低速運(yùn)動(dòng)或微量位移時(shí)易產(chǎn)生摩擦自激振動(dòng)，即爬行現(xiàn)象。爬行會(huì)降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。

精度保持性 主要由導(dǎo)軌的耐磨性決定。耐磨性與導(dǎo)軌的材料、導(dǎo)軌副的摩擦性質(zhì)、導(dǎo)軌上的壓強(qiáng)及其分布規(guī)律等因素有關(guān)。

機(jī)電一體化系統(tǒng)中的導(dǎo)向裝置一般是指導(dǎo)軌，導(dǎo)軌由運(yùn)動(dòng)件和承導(dǎo)件組成。各種機(jī)械運(yùn)行時(shí)，由導(dǎo)軌副保證執(zhí)行件的正確運(yùn)動(dòng)軌跡。并且導(dǎo)軌副也影響著執(zhí)行件的運(yùn)動(dòng)特性。
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