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固體潤(rùn)滑是將固體潤(rùn)滑劑覆蓋在導(dǎo)軌的摩擦表面上，形成黏結(jié)型固體潤(rùn)滑膜，以降低摩擦，減少磨損。固體潤(rùn)滑劑種類較多，按基本原料可分為金屬類、金屬化合物類、無(wú)機(jī)物類和有機(jī)物類。

導(dǎo)向精度 主要軌運(yùn)動(dòng)軌跡的度。影響導(dǎo)向精度的主要因素有：導(dǎo)軌的幾何精度和接觸精度，導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式，導(dǎo)軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動(dòng)）壓導(dǎo)軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

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低速運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性動(dòng)導(dǎo)軌作低速運(yùn)動(dòng)或微量位移時(shí)易產(chǎn)生摩擦自激振動(dòng)，即爬行現(xiàn)象。爬行會(huì)降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。
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